激光干涉儀是實現大量程納米測量的重要方法，具有測量精度高、測量范圍大及對待測振動表面無干擾等特點，已廣泛應用于航天器微振動的地面測試、雷達目標識別、精密機械制造、材料探傷等領域。

中圖儀器SJ6000國產激光干涉儀可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等多幾何參量的高精密測量，用于檢測數控機床、自動化設備、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等，以及進行數控機床、三坐標測量機的精度補償。

產品參數

產品型號：SJ6000
產品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩頻方式：雙頻激光熱穩頻
穩頻精度：0.05ppm
線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）
角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m
測量分辨力：1nm
動態采集頻率：50KHz
預熱時間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環境溫度范圍：（0-40）℃，環境濕度：0-95%
主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便
生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

SJ6000國產激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

產品特點

1. 測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量；

2. 在動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

SJ6000國產激光干涉儀滿足了我國各級計量院所、精密加工制造、數控機床、精密儀器等領域在高精度和大量程長度測量方面的需求，提升了我國自主的高精密激光測量水平和高端計量檢定裝備的水平。
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