品名 回流爐模擬測(cè)定裝置  SRS-2
基板尺寸 長(zhǎng)：70W×70L mm
高：保持面上  10mm 以下
裝置尺寸 652W×411D×425Hmm
加熱方式 上面：熱風(fēng)・遠(yuǎn)紅外線輻射過(guò)熱
下面：遠(yuǎn)紅外線輻射加熱
冷卻方式 外部氣體（氮?dú)饣蚩諝猓��?dǎo)入
冷卻用流量調(diào)整弁付
電源  3 相  200V 50/60Hz 1.5kVA
外部氣體 0.3～0.5MPa    100 升/min (MAX)
爐內(nèi)氧氣濃度
（氮?dú)馐褂玫臅r(shí)候） 最低 100ppm
基板托盤(pán) 平托盤(pán)
上面加熱 熱風(fēng)式：約 675W(約 75W×3 本×3 列)
※可以對(duì)標(biāo)準(zhǔn)管口進(jìn)行偏差設(shè)定
紅外線加熱器：約 300W
下面加熱 紅外線加熱器：約 240W
溫度精度  5℃以內(nèi)  (最大基板中央  50W×50L mm 范圍內(nèi))
測(cè)定溫度 常溫～330℃
測(cè)定點(diǎn)數(shù) 3 測(cè)定點(diǎn)
氮?dú)夤┙o機(jī)能 流量調(diào)整閥：100 升/min
裝置重量 約 50kg
測(cè)定范圍 X 軸方向：最大 70mm
Y 軸方向：最大 70mm
Z 軸方向：標(biāo)準(zhǔn)點(diǎn) 0～3mm
變位計(jì)分辨能 最大 0.2μm
X-Y 軸驅(qū)動(dòng)速度 最大 45mm/s（加減速度除外）
測(cè)定點(diǎn) 最大 19 點(diǎn)（以在任意的時(shí)間及溫度內(nèi)連續(xù)的計(jì)測(cè)指定范圍）
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