設備名稱：原子力掃描探針顯微鏡

主要性能指標：

最大掃描尺寸：90μm x 90μm x 10μm

FastScan 掃描尺寸：35μm x 35μm x 3μm

最大掃描速度：125Hz

溫度范圍：-35°C至 250°C

彈性模量范圍： 1 MPa~100 GPa

粘附力范圍： 10 pN~10uN

表面電勢：±10V，精度10mV

主要工作模式：

Contact mode（接觸模式）

Tapping mode（輕敲模式）

LFM（橫向力顯微鏡）

EFM（靜電力模式）/surface potential(表面電勢)

PR-mode(壓電響應模式)

MFM（磁力顯微鏡模式）/TR-MFM（橫向磁力顯微鏡模式）

ScanAsyst（智能成像模式）

Peak force QNM(定量納米力學性能測試模式) /Peakforce TUNA(峰值力隧道電流顯微鏡)

Torsion resonance mode(扭轉共振模式)

Force curve（力曲線模式）/Force volume（力曲線陣列模式）

Liquid imaging（液態成像模式）

特色及用途：

除了配備常規的智能成像模式，接觸模式，輕敲模式，橫向力顯微鏡，靜電力顯微鏡，磁力顯微鏡等模塊外，還配備了定量納米力學性能測試模式，峰值力隧道電流顯微鏡, 導電原子力顯微鏡等，極大拓寬了材料測試領域和系統分析功能。特別是配備最新的快速掃描模塊，極大縮短樣品掃描時間，提高了測試效率。本套設備的主要功能及特點如下：

1.三維形貌觀察：通過輕敲/接觸模式對軟硬程度不同的樣品進行微納米尺度三維形貌觀察；

2.表面電勢及靜電力分布測量：通過靜電力顯微鏡(EFM)以及開爾文探針顯微鏡(KFM)進行觀察，測量材料表面的電勢及靜電力分布；

3.樣品的導電性測量：通過峰值力隧道電流顯微鏡和導電原子力顯微鏡測量樣品的電學性能；

4.納米力學測試：通過(Peak force QNM)以及力曲線模塊(Force volume) 測量微納米尺度下材料的力學性能，包括彈性模量，粘附力等；

5. 鐵電/壓電材料表征：通過壓電力顯微鏡(PFM)對鐵電/壓電材料的電疇分布及電滯回線進行測量。

6. 快速掃描成像：通過FastScan模塊對樣品的形貌，電勢，靜電力等進行快速掃描成像；

應用領域：廣泛應用于材料科學、物理、化學、生物研究領域。